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Products● 最快100 points/sec 的高速檢測與與探測精度的提高
● 10 V 的電壓下,絕緣測試量程高達100GΩ
● 檢測探針卡基板的理想之選
飛針測試機FA1815-20,用于檢測尖端IT技術(shù)中使用的高精度基板。FA1815-20的速度最快高達每秒100點,探針定位精度高,在10V電壓下可測試高達100 GΩ的絕緣電阻。它縮短了以探針卡為代表的高精度基板的檢測時間,并通過消除潛在缺陷實現(xiàn)了高質(zhì)量,從而為提高半導(dǎo)體行業(yè)的生產(chǎn)率做出了貢獻。
手臂數(shù) | 4(上面2,下面2) | |
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可安裝探針 | 1172系列,CP1072系列,CP1073系列 | |
測試步數(shù) | 4,000,000步 | |
測試項目?測量范圍 | 直流定電流導(dǎo)通測試 | 400.0 mΩ?1.000 kΩ |
直流定電流電阻測試 | 40.00 μΩ?400.0 kΩ | |
直流定電壓電阻測試 | 4.000 Ω?40.00 MΩ | |
絕緣電阻測試 | 1.000 kΩ?100.0 GΩ | |
低電壓絕緣電阻測試 | 1.000 MΩ? 100.0 GΩ | |
交流定電壓靜電電容測試 | 100.0 fF?10.00 μF | |
漏電流測試 | 1.000 μA?100.0 mA | |
高電壓電阻測試 | 1.000 kΩ?100.0 GΩ | |
電容器絕緣測試 | 1.000 kΩ?250.0 MΩ | |
開路測試 | 4.000 Ω?4.000 MΩ | |
內(nèi)埋元件基板測試 | 短路測試 | 400.0 mΩ ~ 40.00 kΩ |
LSI 連接測試 | 0.000 V?12.00 V | |
交流定電壓電阻測試 | 10.00 Ω?100.0 kΩ | |
交流定電壓電容測試 | 10.00 pF?100.0 μF | |
交流定電壓電感測試 | 1.000 μH?1.000 mH | |
判定范圍 | -99.9%?+999.9%, 或絕對值 | |
移動最小分辨率 | XYZ:0.1?μm | |
最小焊盤間距 | 上面:34 μm(使用CP1075-09時) 下面:44 μm(使用CP1075-09時) | |
最小焊盤尺寸 | 上面:4 μm(使用CP1075-09時) 下面:14 μm(使用CP1075-09時) | |
測試速度 | Max. 100 points/s (0.15 mm移動?4手臂同時探測, 電容法測試時) | |
可測試基板尺寸 | 板厚: 1?12 mm, 尺寸: 50W × 50D?340W × 340D mm | |
最大可測試區(qū)域 | 340W × 340D mm | |
基板固定 | 通用基板固定治具或者電容測試真空吸盤(選件) | |
所用空氣 | 一次側(cè)壓力0.5MPa ~ 0.99MPa(干燥空氣) 最大耗氣量0.3L/min(ANR) | |
電源 | AC200 V, 220 V, 230 V, 240 V單相 (訂貨時指定) 50/60 Hz, 5 kVA | |
體積?重量 | 1355W × 1190H × 1265D mm (凸起部除外), 1100 kg±50 kg |
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